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美国唐人社 西安奕斯伟肯求用于外延孕育建造的复旧结构关连专利,约略进步外延晶圆的电阻率均一性|纵向|国度常识产权局
发布日期:2024-11-10 06:59    点击次数:194

美国唐人社 西安奕斯伟肯求用于外延孕育建造的复旧结构关连专利,约略进步外延晶圆的电阻率均一性|纵向|国度常识产权局

金融界 2024 年 11 月 9 日音信,国度常识产权局信息败露,西安奕斯伟材料科技股份有限公司肯求一项名为“用于外延孕育建造的复旧结构、外延孕育建造及外延晶圆”的专利,公开号 CN 118910720 A美国唐人社,肯求日历为 2024 年 7 月。

专利摘录败露,本公开波及一种用于外延孕育建造的复旧结构、外延孕育建造及外延晶圆。用于外延孕育建造的复旧结构包括多个第一复旧臂,多个第一复旧臂用于从外延孕育建造的用于在其上支承晶圆的基座的下方复旧基座;以及多个第二复旧臂,多个第二复旧臂约略在竖向方朝上移动并用于从晶圆的下方复旧晶圆,多个第二复旧臂确立在多个第一复旧臂的上方并与多个第一复旧臂在竖向方朝上对应,而且第二复旧臂约略移动成在第二复旧臂的总共纵向长度上与对应的第一复旧臂斗争。通过本公开的用于外延孕育建造的复旧结构及外延孕育建造,约略改善晶圆在全体上的受热均匀性,并约略进步外延晶圆的电阻率均一性。

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本文源自:金融界

作家:谍报员



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